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零件表面处理的方法很多，但由于电真空器件的特殊性，实用方法很少。它们大多来自经验和理论基础的不足。因此，即使是典型的清洗方法也需要不断地修改和补充。
在各种清洗方法中，化学处理是主要的方法，如电解、电解抛光和电镀等电气处理，当通常的化学处理不能得到很好的预期效果或需要高度清洁的表面时，使用辅助处理方法。带有非皂化油的金属零件的高温处理，金属零件与非皂化油的接触角没有变化，表明高温处理不能提高零件的表面清洁度，通过比较不同清洗方法的清洗效果，进行超声波清洗。采用超声波技术，将超声波仪器加到脱油液中，加热和超声波的联合作用不仅可以去除零件表面的油，而且可以去除其它杂质，特别是对于精密、复杂的零件。
超声波清洗的具体过程，根据配方的比例，在超声波中加入金属清洗液，超声波频率25 kHz，温度40～60℃，超声波10～30分钟，取出零件，再用自来水和纯水依次冲洗。将容器置于超声波中，超声波5～10分钟，取出部分，依次用自来水和纯水，用酒精脱水，最后吹入氮气柜。
当超声波作用于清洗槽中的清洗液时，由于交变压力的撕裂现象而产生真空气泡，在负压下迅速生长，并被压力剂破坏，部分直接置于超声波中。用金属清洗剂。加热可以增强液体的活化能力，降低粘度和表面张力和超声空化的协同作用，使零件表面的油污染和杂质更容易去除。 5～10分钟，可去除零件表面的金属清洗液和油渣。
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