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真空:一般指在一个大气压下的气体状态
Emsp;函数:
EMP;1和真空吸盘容器受大气压的影响,压力由容器内外的压差决定。
在EMP;2和真空中,气体很薄,单位体积的分子数量很小,分子之间或与其他粒子(如电子、离子)之间的碰撞次数很小。
真空科技
真空技术:真空采集、测量、泄漏检测、真空系统和元件
真空熔炼:铸造、热处理、焊接、单晶制备
等离子体科学技术:磁控溅射、离子镀、CVD、等离子体显示
薄膜的科学技术:蒸发镀、离子镀、CVD、溅射涂层
电子材料加工技术:电子器件、半导体器件、光电材料、外延、掩模和刻蚀
表面科学:固体表面电子结构,原子结构,隧道显微镜,表面性能测试
应用表面科学:紫外光谱、x射线光电子能谱等表面分析仪器
纳米科技:材料制备、性能测试与分析、应用
真空度单位与真空区划分
真空
Emsp;是衡量气体稀薄程度的客观指标。最直接的物理量应该是单位体积的分子数。由于历史原因,真空度较高。
低常用气体压力、低压、高真空来表示,反之,是低真空。
气体压力:作用于单位区域墙壁上的气体压力。单位:DANE/cm2和牛顿/m2。爸。
真空测量:
在EMP的早期阶段,用Hg柱高度测量压力。1大气压=760 mmHg后发现Hg有7种不同密度的同位素,因此同一汞柱显示
来自emsp;的压力并不是唯一的。第十届国际计量大会决定用Pa定义标准气压,规定:1标准大气压(Atm)=1.013×105 Pa,1≤760大气压称为1拖曳(Torr),1托架,几乎等于1 mmHg,#p#分页标题#e#
emsp;exp;1 psi-6895pa:
真空区划分:
真空区域的划分没有统一的标准,国内的划分也不统一,总评分为
Emsp;是5个区域:
粗真空760≤
低真空10≤
高真空
超高真空
真空技术的应用
Emsp;广泛应用于工业生产和科学研究的各个领域。
例如:压差制真空吸盘、真空进料;电子管、离子加速器(少碰撞);冶金工业:真空冶炼、脱气、精炼、热处理、稀有金属、半导体材料制备;食品工业、真空保存、包装、冷冻干燥;活性物质的抗氧化(延长寿命、灯泡);表面物理(清洁表面的全实验研究
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